雙氘燈和鹵鎢燈混合光源系統， Dual deuterium and tungsten-halogen hybrid light source
雙氘燈和鹵鎢燈混合光源系統中，包括兩個深紫外氘燈光源和一個鹵鎢燈光源。氘燈光源采用了特殊光學設計，使**個氘燈具有與**個氘燈相同的光路。在雙氘燈和鹵鎢燈光源系統中，采用了合適的聚焦和準直設計，以獲得*大的光功率輸出。
通常情況下，氘燈光源的光功率要小于鹵鎢燈光源的光功率，但是，在一些特殊的應用中，需要高功率深紫外光源，那么，該雙氘燈和鹵鎢燈光源系統是一個不錯的選擇。
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